安科瑞 鮑靜君

　　摘(zhāi)要：在國家鼓(gǔ)勵半導(dǎo)體(tǐ)材料(liào)國(guó)產化的政(zhèng)策導向(xiàng)下，本(běn)土(tǔ)半(bàn)導體(tǐ)材料(liào)廠商不(bù)斷提升半導體(tǐ)產品技(jì)術水(shuǐ)平(píng)和研(yán)發能(néng)力(lì)，逐(zhú)漸打破(pò)了(liǎo)國外半導(dǎo)體廠(chǎng)商的壟(lǒng)斷格局，推進中國半導體材料國(guó)產(chǎn)化(huà)進程，促進中(zhōng)國(guó)半導體(tǐ)行業(yè)的(dí)發(fā)展。半(bàn)導(dǎo)體產品的製造(zào)使用(yòng)到的設備如(rú)單(dān)晶(jīng)爐
，多晶(jīng)爐等都(dū)是(shì)惡性(xìng)的(dí)諧波源，這些(xiē)設備產(chǎn)生的諧波(bō)會汙(wū)染(rǎn)電(diàn)力係統，影響(xiǎng)係(xì)統(tǒng)的供(gōng)電質(zhì)量。因此(cǐ)這(zhè)些生產(chǎn)半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)的(dí)電(diàn)子(zǐ)廠房(fáng)需要一(yī)套係統解決方案，有效解決(jué)其(qí)產生(shēng)的電能質(zhì)量(liáng)問題。

　　關鍵(jiàn)詞(cí)：半導(dǎo)體行業；電能(néng)質(zhì)量；電能質量(liáng)監(jiān)測與治(zhì)理(lǐ)；係(xì)統解決方(fāng)案

　　1引言

　　半導體(tǐ)是許(xǔ)多工(gōng)業(yè)整(zhěng)機(jī)設備(bèi)的核心，普(pǔ)遍(biàn)應用(yòng)於計(jì)算機(jī)
，通信(xìn)
，消費電(diàn)子
，汽車(chē)
，工(gōng)業/醫療
，軍(jūn)事/政府等核(hé)心領域(yù)。為鼓勵半(bàn)導體材(cái)料(liào)產(chǎn)業發展，突破(pò)產(chǎn)業瓶頸(jǐng)，我國出(chū)台(tái)等多項政(zhèng)策支持半導體(tǐ)行(háng)業發展，為半(bàn)導體材料產(chǎn)業的發展(zhǎn)提(tí)供(gōng)良(liáng)好的發展(zhǎn)環(huán)境。半(bàn)導(dǎo)體(tǐ)等(děng)電(diàn)子廠房相(xiāng)較於其(qí)他(tā)工(gōng)業類廠房，主要特(tè)殊之(zhī)處(chǔ)在(zài)於(yú)其潔淨(jìng)等級要求(qiú)高，光刻機(jī)
，等離(lí)子注(zhù)入機等(děng)設備(bèi)的電源質量(liáng)和(hé)電壓(yā)等(děng)級(jí)要(yào)求高。生(shēng)產(chǎn)半(bàn)導體的廠房使(shǐ)用到的大(dà)部(bù)分電子產品采用了(liǎo)非(fēi)綫(xiàn)性的(dí)可控變流(liú)裝置
，變頻(pín)調(tiáo)速裝置(zhì)等負荷(hé)，其(qí)產(chǎn)生的諧波(bō)問題導(dǎo)致了公用電網電(diàn)能(néng)品質(zhì)降低。若不治理(lǐ)，不僅會影響(xiǎng)設(shè)備的正(zhèng)常運(yùn)行(háng)，嚴(yán)重時甚至會(huì)威脅(xié)患(huàn)者的(dí)生命(mìng)安全，因此(cǐ)對(duì)半(bàn)導(dǎo)體廠(chǎng)房供配(pèi)電係統電能質量(liáng)治(zhì)理的深(shēn)入(rù)分析(xī)研究(jiū)勢(shì)在(zài)必行(háng)。

　　2諧(xié)波源(yuán)分(fēn)析

　　半導體芯片(piàn)加(jiā)工電子(zǐ)廠(chǎng)房(fáng)生產製造配電係統(tǒng),主要(yào)諧(xié)波負載為(wéi)主要諧(xié)波源(yuán)為單晶爐(lú)
，多(duō)晶(jīng)爐
，各類設(shè)備(bèi)
，照明及變頻通風設(shè)備
，計(jì)算機(jī)及UPS等。

　　目前大多數(shù)單(dān)晶爐(lú)是采用中(zhōng)頻感應電源加熱(rè)的工(gōng)作(zuò)方式，中頻電(diàn)源主(zhǔ)電路(lù)包(bāo)括整(zhěng)流電路(lù)
，濾波電路(lù)
，單相橋(qiáo)式逆變(biàn)電路(lù)和並聯諧(xié)振(zhèn)電路。其中(zhōng)整(zhěng)流電(diàn)路(lù)采用三相(xiāng)全控(kòng)橋(qiáo)式(shì)整流(liú)電路，作(zuò)用是(shì)將(jiāng)三相(xiāng)50Hz工(gōng)頻交流電壓整流成(chéng)波動(dòng)的直(zhí)流電(diàn)壓(yā)。單晶爐的中(zhōng)頻(pín)電(diàn)源產生諧波電流(liú)僅含(hán)(k=1,2,3…)次。

　　單晶爐
，多(duō)晶爐
，IC測試台(tái)
，PLC控(kòng)製的(dí)機(jī)械手
，芯(xīn)片(piàn)製(zhì)造(zào)用的晶圓(yuán)機或(huò)變頻(pín)控製(zhì)的半導(dǎo)體(tǐ)機(jī)台都會產生大量的(dí)諧(xié)波，他(tā)們不但(dàn)會造成機(jī)台設備(bèi)自(zì)身(shēn)的(dí)壞(huài)機(jī)現象，回流(liú)進電(diàn)網(wǎng)的諧(xié)波電流還會引起(qǐ)其它(tā)回路的發熱，電子開(kāi)關誤(wù)動作(zuò)
，供電電(diàn)壓(yā)不穩，甚至(zhì)生產(chǎn)綫(xiàn)停(tíng)綫
，半成品的報廢，其損失不(bù)可謂不大(dà)。而且高能(néng)設備(bèi)如(rú)：外延設備(bèi)
，擴散(sàn)設(shè)備(bèi)
，離子注入設備的(dí)頻(pín)繁加卸(xiè)載，更加重(zhòng)了用電(diàn)環(huán)境(jìng)的(dí)惡化。

　　3諧(xié)波影(yǐng)響(xiǎng)

　　3.1對電網(wǎng)的(dí)影(yǐng)響

　　導致(zhì)電網功率(shuài)消耗變大
，設備(bèi)試用時(shí)間降(jiàng)低(dī)
，接(jiē)地保護(hù)功能和遙控功(gōng)能出(chū)現(xiàn)異常
，綫路與(yǔ)設備熱量變大等(děng)，特(tè)別(bié)是(shì)三次(cì)諧(xié)波導(dǎo)致非常大(dà)的中性綫電流(liú)，造成配電變壓器(qì)零(líng)綫電流大於(yú)相(xiāng)綫(xiàn)電流數值，致使(shǐ)設(shè)備(bèi)不能(néng)平穩運(yùn)行。因(yīn)此，諧波(bō)還能(néng)引發(fā)造(zào)成諧振(zhèn)在電(diàn)網中(zhōng)發(fā)生(shēng)，則會將(jiāng)運行正常(cháng)的供電(diàn)停止
，情況嚴(yán)重
，電網(wǎng)解(jiě)裂(liè)等情況(kuàng)發(fā)生。諧(xié)振造(zào)成變電站(zhàn)局部並(bìng)聯(lián)與(yǔ)串聯，致(zhì)使(shǐ)電壓(yā)互感(gǎn)器設(shè)施損(sǔn)壞(huài)；造成(chéng)變電站係(xì)統當中(zhōng)的設備與元件(jiàn)生(shēng)成(chéng)附(fù)加(jiā)的(dí)諧(xié)波損耗，導致(zhì)電(diàn)力變(biàn)壓器
，電力電纜
，電(diàn)動機等設(shè)備溫(wēn)度(dù)上(shàng)升，電容器損壞，進而(ér)促進(jìn)了(liǎo)絕緣材料(liào)發生質變的速(sù)率(shuài)。

　　3.2對用(yòng)電(diàn)安(ān)全造成(chéng)的影響

　　一(yī)，失火(huǒ)造成災(zāi)害(hài)。有些意外(wài)失火狀況的起因多數跟電(diàn)力(lì)諧波有聯係。現階段節(jié)能燈(dēng)
，調光器設施(shī)中關開電源很普及，開(kāi)始為了節約能源，之後這(zhè)些設施卻產生了(liǎo)諧(xié)波源，導致(zhì)電網(wǎng)的(dí)危險係數(shù)增加,中性綫電(diàn)流變大(dà)，嚴重的超(chāo)出綫電流，造成失火的潛(qián)在安全風險。二，有關設(shè)備損壞(huài)。電能質量(liáng)會影響(xiǎng)繼電(diàn)保(bǎo)護(hù)
，計(jì)算機係統(tǒng)與(yǔ)精細(xì)儀器和機(jī)械(xiè)等，造成(chéng)其不能平(píng)穩運轉和(hé)操(cāo)控，減(jiǎn)少(shǎo)設(shè)施利(lì)用期限，進(jìn)而導致(zhì)繼電保(bǎo)護錯(cuò)誤(wù)操作(zuò)出(chū)現可避(bì)免(miǎn)的(dí)意(yì)外(wài)損失(shī)，造(zào)成不(bù)同(tóng)情(qíng)況的(dí)幹(gān)擾。三(sān)，通信擾亂(luàn)。其電(diàn)網擾亂的(dí)主要因素為(wéi)發生諧波(bō)，通(tōng)過基(jī)本靜(jìng)電(diàn)感應(yīng)和(hé)電磁(cí)感(gǎn)應，經過(guò)通(tōng)信(xìn)綫(xiàn)路導致聲(shēng)頻混(hùn)亂。其諧(xié)波頻率提(tí)升(shēng)，則會有(yǒu)雜(zá)音(yīn)問題，通(tōng)過(guò)通(tōng)信綫路(lù)上導(dǎo)致音(yīn)頻(pín)混(hùn)亂(luàn)。

　　3.3 諧波對(duì)於電氣設備產生的影(yǐng)響

　　一(yī)，電力(lì)電(diàn)容(róng)器產生(shēng)的影(yǐng)響。而電容(róng)器在(zài)電網(wǎng)無功(gōng)配置容量(liáng)中(zhōng)占(zhān)有(yǒu)比(bǐ)重(zhòng)很大，其(qí)中少(shǎo)數(shù)電容器(qì)安排隻參(cān)照無(wú)功補償(cháng)量(liáng)，不(bù)會參照裝置點(diǎn)電(diàn)能質量現實存在的(dí)汙染狀(zhuàng)況。惡劣情(qíng)況下會出現串(chuàn)聯(lián)並聯諧(xié)振，造(zào)成電容(róng)器(qì)諧(xié)波過電壓與過(guò)電流，導致電容器開裂；二，變(biàn)壓(yā)器產(chǎn)生(shēng)影響。諧(xié)波電流(liú)在(zài)變壓(yā)器中(zhōng)發生(shēng)，致使銅耗提(tí)高，造成局部過(guò)熱
，震蕩(dàng)
，聲(shēng)音(yīn)變大(dà)
，繞(rào)組附加過熱等(děng)；三，同(tóng)步發(fā)電機產生的(dí)影(yǐng)響(xiǎng)。在係統裏(lǐ)麵的同步發(fā)電機(jī)中流(liú)入(rù)負(fù)序電流(liú)與諧(xié)波電流，造成(chéng)多餘的損耗，導致發(fā)電(diàn)機(jī)局部(bù)過熱，絕(jué)緣力(lì)度降低(dī)。第四(sì)，自動控製(zhì)器(qì)產(chǎn)生的影響。現如今(jīn)，數字(zì)控製技(jì)術已投入(rù)到(dào)更(gēng)加廣泛領(lǐng)域(yù)，諸(zhū)多精(jīng)細(xì)負(fù)載針對受電(diàn)電能質量(liáng)指(zhǐ)標(biāo)有更高(gāo)要求。基於此，電(diàn)能質量被沾(zhān)上(shàng)髒(zàng)物則會導致設(shè)備(bèi)的監測模(mó)塊(kuài)中引發(fā)畸(jī)變量(liáng)
，擾(rǎo)亂一般(bān)分(fēn)解計(jì)算
，造(zào)成出錯的輸(shū)出結(jié)果的(dí)損(sǔn)害。

　　4電(diàn)子半導體(tǐ)行業(yè)電能質量監測和治理係統解決(jué)方案

　　4.1行業特(tè)征

　　l 對(duì)電(diàn)能質量要求(qiú)高(gāo):

　　l 負載中含有(yǒu)多種諧(xié)波源(yuán)，配電(diàn)諧波(bō)含(hán)量(liáng)較高

　　l 諧(xié)波主要(yào)以6N土1次諧波為主(zhǔ)

　　l 存在(zài)大量(liáng)變頻(pín)設(shè)備(bèi)，變(biàn)頻設(shè)備之(zhī)間存(cún)在(zài)相(xiāng)互諧(xié)振風(fēng)險.

　　4.2解決方(fāng)案(àn)

　　半(bàn)導體芯(xīn)片(piàn)製造(zào)業(yè)在(zài)國(guó)民(mín)經濟(jì)中(zhōng)起著(zhuó)*的作(zuò)用，相(xiāng)關企業(yè)的(dí)規模(mó)也(yě)越(yuè)來越大，其(qí)供配電(diàn)係統穩定
，可靠的運維不(bù)僅是(shì)其(qí)安全(quán)生產的基本保證，還(huán)關係(xì)到產(chǎn)品質量(liáng)和生(shēng)產的(dí)順(shùn)利(lì)進行。集(jí)成(chéng)電(diàn)路(lù)芯片製(zhì)造(zào)關(guān)鍵設備多(duō)
，工位器(qì)具(jù)多
，工藝(yì)步驟繁(fán)多復(fù)雜。除供(gōng)配電係(xì)統(tǒng)外，還需傳(chuán)送(sòng)係(xì)統
，超(chāo)純(chún)水(shuǐ)淨(jìng)化係統
，真空係統
，氣(qì)冷(lěng)風冷係統(tǒng)
，特(tè)殊氣體分配係統來(lái)保(bǎo)證生(shēng)產(chǎn)過(guò)程的(dí)順利實施以及關鍵設備(bèi)的(dí)安全運行(háng)。由於(yú)整個工廠的生產條(tiáo)件通過電能(néng)供(gōng)給來(lái)實現，因(yīn)此(cǐ)半導(dǎo)體芯(xīn)片製造(zào)對(duì)供(gōng)電質(zhì)量要求(qiú)特別高(gāo)。

　　安科瑞電氣提(tí)出的(dí)電(diàn)能(néng)質量監(jiān)測與治理係(xì)統解(jiě)決方案(àn)可滿(mǎn)足電力(lì)監控管(guǎn)理(lǐ)
，運(yùn)維與電(diàn)能質(zhì)量治理等(děng)方(fāng)麵的(dí)需(xū)求，致力(lì)於(yú)為高(gāo)速公(gōng)路(lù)行業用戶(hù)提供(gōng)一(yī)站式的整體(tǐ)解決方(fāng)案(àn)，從產品(pǐn)
，係統(tǒng)
，服務(wù)等不(bù)同方麵來滿(mǎn)足用(yòng)戶的(dí)需要，為(wéi)用戶創造價值(zhí)。

　　4.3方(fāng)案特點(diǎn)

　　l 電(diàn)能質量(liáng)監(jiān)測與治(zhì)理係統即可(kě)通過(guò)本(běn)地設備為用(yòng)戶(hù)提供電能質量監(jiān)測
，治(zhì)理(lǐ)與設備運(yùn)維等功能，亦(yì)可(kě)通過(guò)接入AcrelEMS-SEMI電(diàn)站(zhàn)廠(chǎng)房能效管理平台(tái)，為用(yòng)戶提(tí)供(gōng)遠程(chéng)在(zài)綫服(fú)務(wù)；

　　l 符合(hé)GB/T17626.30-2012中準(zhǔn)確(què)度(dù)測量(liáng)方(fāng)法，適(shì)用於要求準(zhǔn)確測量(liáng)電能(néng)質量(liáng)指(zhǐ)標參數的(dí)場合(hé)；

　　l 專業化(huà)的(dí)電(diàn)能質量(liáng)監(jiān)測(cè)：電(diàn)能質量實時(shí)在(zài)綫監(jiān)測，測(cè)量精度高(gāo)
，測(cè)得準(zhǔn)，符(fú)合IEC61000-4-30標準；

　　l 電能(néng)質(zhì)量(liáng)監測(cè)與治理(lǐ)裝置信(xìn)息(xī)互(hù)聯，通過統一平台管理(lǐ)，方便用(yòng)戶同(tóng)時(shí)監測電網(wǎng)電(diàn)能質(zhì)量以及(jí)治理數據；

　　l 采用三電(diàn)平(píng)電力(lì)電(diàn)子(zǐ)驅動器(qì)件，通(tōng)過更(gēng)多的電(diàn)平輸(shū)出更高(gāo)品質的(dí)治(zhì)理波(bō)形。

　　4.4方(fāng)案效果(guǒ)

　　l 對電網(wǎng)電(diàn)能(néng)質(zhì)量(liáng)高精(jīng)度的實時監控，包(bāo)括電(diàn)壓偏(piān)差
，頻(pín)率偏差(chà)
，諧波
，電壓波動
，閃(shǎn)變
，三相電壓(yā)不平(píng)衡(héng)等。同(tóng)時可對故障事件(jiàn)進行記錄，對監測點負荷曲綫及(jí)電(diàn)壓電流(liú)
，電壓偏差
，不(bù)平(píng)衡度(dù)
，閃變(biàn)等(děng)進行趨(qū)勢(shì)分(fēn)析，用戶(hù)可以(yǐ)通(tōng)過係統(tǒng)查看(kàn)發(fā)生告警(jǐng)的(dí)事件波(bō)形(xíng)
，趨勢分(fēn)析(xī)，亦可根(gēn)據監測點的電(diàn)能質(zhì)量情況統計(jì)分析(xī)生(shēng)成(chéng)電(diàn)能(néng)質量(liáng)診(zhěn)斷報告。

　　l 通(tōng)過集(jí)中補償+就地(dì)補償(cháng)的(dí)治(zhì)理策略，補償(cháng)整(zhěng)個數(shù)據(jù)中心(xīn)的無(wú)功和諧(xié)波，提(tí)高數據(jù)中心(xīn)內係(xì)統電能(néng)質(zhì)量
，用電(diàn)設(shè)備(bèi)供電效率，大(dà)幅(fú)度(dù)降(jiàng)低設備故障(zhàng)率(shuài)，達(dá)到(dào)數據(jù)中(zhōng)心(xīn)內自動(dòng)化設(shè)備(bèi)對電源質(zhì)量的要求，可(kě)有(yǒu)效(xiào)解(jiě)決(jué)諧波(bō)的幹(gān)擾及(jí)誤跳閘問(wèn)題。

　　l 係統提供多維度的用(yòng)電指標統計(jì)與電(diàn)能(néng)數(shù)據分(fēn)析(xī)工具(jù)，為(wéi)配(pèi)電係統運(yùn)行管(guǎn)理(lǐ)優(yōu)化和節能(néng)損耗提供(gōng)指導(dǎo)。

　　5安科瑞電能質量監測與治理(lǐ)係統產品(pǐn)選型

　　5.1集(jí)中(zhōng)治(zhì)理

　　電子(zǐ)廠(chǎng)房內會使用到如風(fēng)機(jī)
，空(kōng)調(tiáo)等等電器(qì)，這些(xiē)電器(qì)分布較為分(fēn)散，且單一的設備產生的諧波(bō)量較(jiào)少，且為確保(bǎo)無功功率(shuài)因(yīn)數達到國標要求(qiú)值，避免(miǎn)罰(fá)款(kuǎn)，在配電房處對這些(xiē)負載產生的電能質量(liáng)問題(tí)進行集中治(zhì)理(lǐ)，同時也可對整個(gè)低(dī)壓(yā)供配電係統(tǒng)進行(háng)電(diàn)能質量(liáng)在綫(xiàn)監(jiān)測(cè)，其(qí)中(zhōng)包(bāo)含諧(xié)波(bō)分析
，波形采樣(yàng)
，電壓暫降/暫升/中斷(duàn)
，閃變(biàn)監測等，其集(jí)中治理的(dí)產品選型(xíng)見表1。

　　5.2就地治理

　　電(diàn)子廠(chǎng)房在(zài)生(shēng)產(chǎn)半導體器(qì)件的過程中(zhōng)需要使(shǐ)用到可控(kòng)變流裝(zhuāng)置
，變頻調速(sù)裝(zhuāng)置等(děng)負荷(hé)，這些設備(bèi)在(zài)運行過程(chéng)中(zhōng)會產(chǎn)生大(dà)量(liáng)的諧波(bō)汙染(rǎn)電網，如果(guǒ)不從(cóng)源頭(tóu)治理會影(yǐng)響到(dào)電壓(yā)的(dí)畸變(biàn)率，會(huì)造(zào)成(chéng)其他負(fù)載(zǎi)的(dí)損(sǔn)壞(huài)。針對(duì)以上(shàng)負載情(qíng)況，建(jiàn)議在(zài)各重要(yào)設(shè)備的(dí)配電箱(xiāng)增加(jiā)電能質量補償設備進行(háng)就地治理，達到終端(duān)治理(lǐ)諧波的目(mù)的(dí)，避免(miǎn)諧波影響到整(zhěng)個(gè)配電(diàn)係統和其他用電設(shè)備。

表2 就(jiù)地(dì)治(zhì)理的(dí)產品(pǐn)選型

　　5.3電能(néng)質(zhì)量(liáng)監(jiān)測與治(zhì)理係統(tǒng)                                          

　　（1）平台(tái)拓(tuò)撲

　　電能質量(liáng)監測與(yǔ)治(zhì)理係(xì)統(tǒng)係統平台(tái)主(zhǔ)要由電能(néng)質量治理設備(bèi)
，物(wù)理(lǐ)網關
，服務(wù)器(qì)及服務終端四(sì)部(bù)分組(zǔ)成，其(qí)中(zhōng)電能質(zhì)量治(zhì)理設備(bèi)作(zuò)為基礎(chǔ)實現對(duì)數據采集與電能質(zhì)量補償等，物(wù)理(lǐ)網(wǎng)關實現設備(bèi)與服務器(qì)間的數(shù)據(jù)傳(chuán)輸以及(jí)對設(shè)備進(jìn)行策(cè)略(lüè)功能分(fēn)配(pèi)，數據經(jīng)由(yóu)服(fú)務器(qì)以(yǐ)服(fú)務(wù)終端(duān)為媒(méi)介為(wéi)用戶提供可(kě)視化(huà)展示。

　　（2）平(píng)台展(zhǎn)示

　　電能(néng)質量監測與治理係(xì)統(tǒng)除作為(wéi)本(běn)地終(zhōng)端為用戶(hù)提供電(diàn)能質(zhì)量監測(cè)
，治理與設備運維等(děng)功能外，亦可通過接入(rù)AcrelEMS企業微電網(wǎng)能效管理平(píng)台(tái)，為(wéi)用(yòng)戶提供遠程(chéng)在(zài)綫(xiàn)服務。

　　6江蘇(sū)某電子(zǐ)廠房項目(mù)電(diàn)能質量治(zhì)理項目案例

　　6.1項(xiàng)目背(bèi)景(jǐng)

　　江蘇某電子廠(chǎng)房內除(chú)生產(chǎn)半導體的(dí)核(hé)心器件外(wài)，還有(yǒu)傳(chuán)送係(xì)統(tǒng)，水淨化係(xì)統，風(fēng)冷係統(tǒng)
，空調(tiáo)係(xì)統(tǒng)等(děng)，對(duì)電(diàn)能(néng)質量要求非常(cháng)高。這些(xiē)設備皆(jiē)屬於非綫(xiàn)性負載，在使(shǐ)用過(guò)程(chéng)中會(huì)產生大量(liáng)諧波並注入(rù)係(xì)統中(zhōng);如(rú)果不(bù)進(jìn)行諧(xié)波治(zhì)理(lǐ)，對電(diàn)網造(zào)成嚴重(zhòng)的汙染，也(yě)影響(xiǎng)電子(zǐ)廠(chǎng)房中其他(tā)敏感設備的誤(wù)動(dòng)作
，中斷甚至癱癱，降低了配(pèi)電係(xì)統(tǒng)的安(ān)全性
，可靠性(xìng)。

　　6.2治理方案(àn)

　　根(gēn)據以(yǐ)往測(cè)量經驗(yàn)進(jìn)行(háng)諧波分(fēn)析(xī)與估(gū)算，諧(xié)波主(zhǔ)要(yào)由單晶(jīng)爐(lú)
，晶圓機和(hé)一些(xiē)非綫性(xìng)負(fù)載產(chǎn)生，供電係統(tǒng)由2台1200kVA變(biàn)壓(yā)器，采用(yòng)集中治(zhì)理(lǐ)+就(jiù)地(dì)治理的方(fāng)案(àn)。

　　集中治理：電(diàn)子廠房內(nèi)空調(tiáo)
，風機設備的分布很廣(guǎng)，因此在每台變壓(yā)器(qì)下加(jiā)裝(zhuāng)400A有源諧波治理係統(tǒng)裝置(zhì)，由(yóu)兩台(tái)150A模塊(kuài)和一台100A模塊(kuài)並機(jī)實現，型(xíng)號為整櫃(guì)式(shì)AnSin400-G Ⅰ型(xíng)，自動跟蹤補償負載產生(shēng)的(dí)諧波電流(liú)，保(bǎo)證供電係統(tǒng)安(ān)全(quán)可(kě)靠運行(háng)。

　　就地治理(lǐ)：單(dān)晶爐(lú)是(shì)該(gāi)中心惡(è)性的(dí)負載(zǎi)，因(yīn)此需要在(zài)配電末端對其產(chǎn)生(shēng)的(dí)諧(xié)波(bō)電流(liú)進(jìn)行治理(lǐ)，避免(miǎn)幹(gān)擾其(qí)他(tā)用電設(shè)備(bèi)，因此(cǐ)在使用(yòng)單晶爐的(dí)配電間安裝壁(bì)掛式ANAPF600-380/BBL有(yǒu)源電(diàn)力濾波(bō)器，就地治(zhì)理(lǐ)單(dān)晶爐產(chǎn)生(shēng)的(dí)諧波汙染(rǎn)。

　　6.3治(zhì)理效果(guǒ)

　　選取(qǔ)該(gāi)廠房單晶(jīng)爐(lú)出綫端配電箱，對其前後波形數據(jù)進行對(duì)比，通過裝設壁掛(guà)式ANAPF600-380/BBL有(yǒu)源(yuán)電力濾(lǜ)波(bō)器裝置(zhì)後(hòu)，電壓畸變率(shuài)以(yǐ)A相為例從10.45%降(jiàng)值5.58%，電(diàn)流畸變率(shuài)從28.94%降(jiàng)值5.67%，提(tí)升(shēng)了電網(wǎng)波形質(zhì)量，具(jù)體效(xiào)果(guǒ)及參數如(rú)下表所(suǒ)示(shì)。

　表(biǎo)3 治(zhì)理(lǐ)前後波(bō)形數(shù)據(jù)對比

　　7 結論(lùn)

　　半導(dǎo)體(tǐ)材(cái)料技術在(zài)國內的發展促使很多(duō)半導體加(jiā)工設(shè)備投入使用(yòng)，這些設(shè)備普(pǔ)遍采(cǎi)用了(liǎo)電力電子變流和控製(zhì)器件。這些(xiē)設(shè)備在工(gōng)作的(dí)同(tóng)時也會產生大量(liáng)的諧波，它(tā)們不(bù)但會(huì)造成機(jī)台設備自身的壞機現象，回流進(jìn)電網(wǎng)的諧波(bō)電(diàn)流(liú)還會引(yǐn)起(qǐ)其(qí)它(tā)回路的發(fā)熱
，電(diàn)子(zǐ)開(kāi)關(guān)誤動作(zuò)
，供(gōng)電電(diàn)壓不(bù)穩，甚(shèn)至(zhì)引起生(shēng)產綫停綫
，半(bàn)成品的報廢。因(yīn)此，安(ān)科瑞(ruì)為電(diàn)子(zǐ)廠房行(háng)業(yè)提供了一(yī)套(tào)完整的電能(néng)治(zhì)理(lǐ)監(jiān)測(cè)與治理的係(xì)統(tǒng)解(jiě)決方案，使(shǐ)電子(zǐ)廠房(fáng)的電(diàn)能(néng)質量(liáng)問題(tí)得(dé)到(dào)了(liǎo)有效的(dí)治(zhì)理。從(cóng)成(chéng)本
，性(xìng)能
，可(kě)靠性等(děng)角度(dù)綜(zōng)合(hé)考慮，該方法具(jù)有較(jiào)高的性價比。